EDS

Enerji dağıtıcı spektrometreler (EDS), X-ışınlarını enerjilerine göre sınıflandırır; dalga boyu dağılım spektrometreleri (WDS) ise X-ışınlarını dalga boylarına göre sıralar. WDS sistemleri, farklı dalga boylarındaki X-ışınlarını ayırmak için X-ışını kırınımını kullanır.